It 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory is in grut bouprojekt fan 'e elektroanika-yndustry fan myn lân tidens it njoggende fiifjierrige plan om chips te produsearjen mei in linebreedte fan 0.18 mikrons en in diameter fan 200 mm.
De produksjetechnology fan heul grutskalige yntegreare circuits omfettet net allinich technologyen mei hege presyzje lykas mikro-ferwurking, mar stelt ek hege easken oan gassuverens.
De bulk gasfoarsjenning foar Project 909 wurdt levere troch in joint venture tusken Praxair Utility Gas Co., Ltd. fan 'e Feriene Steaten en relevante partijen yn Shanghai om tegearre in gasproduksjefabryk te fêstigjen. gebou, beslacht in gebiet fan likernôch 15.000 kante meter. De suverens en útfier easken fan ferskate gassen
Stikstof mei hege suverens (PN2), stikstof (N2), en soerstof mei hege suverens (PO2) wurde produsearre troch luchtskieding. Waterstof mei hege suverens (PH2) wurdt produsearre troch elektrolyse. Argon (Ar) en helium (Hy) wurde kocht útbestege. De kwasi-gas wurdt suvere en filtere foar gebrûk yn Project 909. Spesjaal gas wurdt levere yn fleskes, en de gas flesse kabinet leit yn 'e auxiliary workshop fan' e yntegrearre circuit produksje plant.
Oare gassen omfetsje ek skjin droege komprimearre loft CDA-systeem, mei in gebrûksvolumint fan 4185m3 / h, in drukdauwpunt fan -70 °C, en in partikelgrutte fan net mear as 0.01um yn it gas op it punt fan gebrûk. Breathing komprimearre lucht (BA) systeem, gebrûk folume 90m3 / h, druk dauwpunt 2 ℃, dieltsje grutte yn it gas op it punt fan gebrûk is net grutter as 0.3um, proses fakuüm (PV) systeem, gebrûk folume 582m3 / h, fakuümgraad op it punt fan gebrûk -79993Pa. Cleaning vacuum (HV) systeem, usage folume 1440m3 / h, vacuum graad by gebrûk punt -59995 Pa.
Seleksje fan pipe materialen en accessoires
It gas dat brûkt wurdt yn VLSI-produksje hat ekstreem hege easken foar skjinens.Gaspipelines mei hege suverenswurde meastal brûkt yn skjinne produksje omjouwings, en harren suverens kontrôle moat wêze yn oerienstimming mei of heger as de suverens nivo fan de romte yn gebrûk! Derneist wurde gaspipelines mei hege suverens faak brûkt yn skjinne produksjeomjouwings. Pure wetterstof (PH2), hege suverens soerstof (PO2) en guon spesjale gassen binne flammable, eksplosive, ferbaarning-stypjende of giftige gassen. As it gaspipelinesysteem ferkeard ûntworpen is of de materialen ferkeard selektearre binne, sil net allinich de suverens fan it gas dat brûkt wurdt op it gaspunt ôfnimme, mar it sil ek mislearje. It foldocht oan de proses-easken, mar it is ûnfeilich om te brûken en sil fersmoarging feroarsaakje oan it skjinne fabryk, wat de feiligens en skjinens fan it skjinne fabryk beynfloedet.
De garânsje fan 'e kwaliteit fan gas mei hege suverens op it punt fan gebrûk hinget net allinich ôf fan' e krektens fan gasproduksje, suveringsapparatuer en filters, mar wurdt ek foar in grut part beynfloede troch in protte faktoaren yn it pipelinesysteem. As wy fertrouwe op gas produksje apparatuer, suvering apparatuer en filters.
Tidens it ûntwerpproses fan it 909-projekt folgen wy de "Code for Design of Clean Plants" GBJ73-84 (de hjoeddeistige standert is (GB50073-2001)), "Code for Design of Compressed Air Stations" GBJ29-90, "Code" foar Untwerp fan Oxygen Stations "GB50030-91, "Code foar Untwerp fan Hydrogen en Oxygen Stations" GB50177-93, en relevante technyske maatregels foar de seleksje fan pipeline materialen en accessoires. "Koade foar ûntwerp fan skjinne planten" bepaalt de seleksje fan pipelinematerialen en kleppen as folget:
(1) As de gas suverens is grutter as of lyk oan 99.999% en it dauwe punt is leger as -76 ° C, 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon roestfrij stiel piip (316L) mei electropolished binnenmuorre of OCr18Ni9 roestfrij stiel piip (304) mei elektropolijst binnenmuorre moat brûkt wurde. It fentyl moat in diafragma fentyl of balg fentyl wêze.
(2) As de gas suverens is grutter as of lyk oan 99,99% en it dauwe punt is leger as -60 ° C, OCr18Ni9 RVS buis (304) mei electropolished binnenmuorre moatte wurde brûkt. Utsein balgkleppen dy't moatte wurde brûkt foar brânbere gasliedingen, moatte kogelkleppen brûkt wurde foar oare gasliedingen.
(3) As it dauwepunt fan droege komprimearre loft leger is as -70 ° C, moat OCr18Ni9 roestfrij stiel piip (304) mei gepolijst binnenmuorre brûkt wurde. As it dauwpunt leger is as -40 ℃, moat OCr18Ni9 roestfrij stiel piip (304) of hot-dip galvanisearre naadleaze stielen piip brûkt wurde. De klep moat in balgklep wêze as in balklep.
(4) It fentylmateriaal moat kompatibel wêze mei it ferbinende piipmateriaal.
Neffens de easken fan spesifikaasjes en relevante technyske maatregels beskôgje wy benammen de folgjende aspekten by it selektearjen fan pipelinematerialen:
(1) De loftpermeabiliteit fan piipmaterialen moat lyts wêze. Pipen fan ferskate materialen hawwe ferskillende luchtpermeabiliteit. As liedingen mei gruttere luchtpermeabiliteit selektearre wurde, kin fersmoarging net fuorthelle wurde. RVS buizen en koperen liedingen binne better by it foarkommen fan de penetraasje en corrosie fan soerstof yn 'e sfear. Om't roestfrij stiel buizen lykwols minder aktyf binne as koperen liedingen, binne koperen buizen mear aktyf om focht yn 'e sfear yn har ynderlike oerflakken troch te litten. Dêrom, by it selektearjen fan pipen foar gaspipes mei hege suverens, moatte roestfrij stielpipes de earste kar wêze.
(2) It binnenste oerflak fan it piipmateriaal wurdt adsorbearre en hat in lyts effekt op it analysearjen fan it gas. Nei't de roestfrij stiel piip is ferwurke, sil in bepaalde hoemannichte gas yn har metalen rooster bewarre wurde. As gas mei hege suverens trochkomt, sil dit diel fan it gas de loftstream yngean en fersmoarging feroarsaakje. Tagelyk, troch adsorpsje en analyze, sil it metaal op 'e ynderlike oerflak fan' e piip ek in bepaalde hoemannichte poeder produsearje, wêrtroch fersmoarging fan it gas mei hege suverens feroarsaakje. Foar piping systemen mei suverens boppe 99,999% of ppb nivo, 00Cr17Ni12Mo2Ti lege koalstof RVS piip (316L) moatte wurde brûkt.
(3) De wear ferset fan RVS pipen is better as dy fan koperen pipen, en de metalen stof oanmakke troch lucht stream eroazje is relatyf minder. Produksjeworkshops mei hegere easken foar skjinens kinne 00Cr17Ni12Mo2Ti lege koalstof roestfrij stiel pipen (316L) of OCr18Ni9 roestfrij stiel pipen (304) brûke, koperen pipen sille net brûkt wurde.
(4) Foar piping systemen mei gas suverens boppe 99,999% of ppb of ppt nivo, of yn skjinne keamers mei lucht suverens nivo fan N1-N6 spesifisearre yn de "Clean Factory Design Code", ultra-skjinne pipen ofEP ultra-skjinne buizenbrûkt wurde moatte. Skjin "skjinne buis mei ultra-glêd binnenste oerflak".
(5) Guon fan 'e spesjale gaspipelinesystemen brûkt yn it produksjeproses binne heul korrosive gassen. De buizen yn dizze liedingsystemen moatte korrosjebestindige roestfrij stiel buizen brûke as buizen. Oars wurde de buizen skansearre troch corrosie. As korrosysjeflekken op it oerflak foarkomme, sille gewoane naadleaze stielen buizen of galvanisearre laske stielen buizen net wurde brûkt.
(6) Yn prinsipe moatte alle gaspipeline-ferbiningen wurde laske. Sûnt lassen fan galvanisearre stielen buizen sil ferneatigje de galvanized laach, galvanized stielen buizen wurde net brûkt foar pipen yn skjinne keamers.
Mei de boppesteande faktoaren yn oerweging, binne de gaspipes en kleppen selekteare yn it &7&-projekt as folget:
De hege suverens stikstof (PN2) systeem pipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leech-koalstof RVS pipen (316L) mei electropolished binnenste muorren, en de kleppen binne makke fan RVS balgen kleppen fan itselde materiaal.
De stikstof (N2) systeem pipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leech-koalstof RVS pipen (316L) mei electropolished binnenmuorren, en de kleppen binne makke fan RVS balgen kleppen fan itselde materiaal.
De hege suverens wetterstof (PH2) systeem pipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon RVS pipen (316L) mei electropolished binnenmuorren, en de kleppen binne makke fan RVS balgen kleppen fan itselde materiaal.
De hege suverens soerstof (PO2) systeem pipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leech-koalstof roestfrij stiel pipen (316L) mei elektro-gepolijst binnenmuorren, en de kleppen binne makke fan RVS balgen kleppen fan itselde materiaal.
Argon (Ar) systeem pipen wurde makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon RVS pipen (316L) mei electropolished binnenmuorren, en RVS balgen kleppen fan itselde materiaal wurde brûkt.
De helium (He) systeem pipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon roestfrij stiel pipen (316L) mei electropolished binnenmuorren, en de kleppen binne makke fan RVS balgen kleppen fan itselde materiaal.
De skjinne droege komprimearre lucht (CDA) systeem pipen binne makke fan OCr18Ni9 roestfrij stiel pipen (304) mei gepolijst binnenmuorren, en de kleppen binne makke fan RVS balgen kleppen fan itselde materiaal.
De sykheljen komprimearre lucht (BA) systeem pipen binne makke fan OCr18Ni9 roestfrij stiel pipen (304) mei gepolijst binnenmuorren, en de kleppen binne makke fan RVS bal kleppen fan itselde materiaal.
De proses fakuüm (PV) systeem pipen binne makke fan UPVC pipen, en de kleppen binne makke fan fakuüm flinter kleppen makke fan itselde materiaal.
De skjinmeitsjende fakuüm (HV) systeempipen binne makke fan UPVC-pipen, en de kleppen binne makke fan fakuümflinterkleppen makke fan itselde materiaal.
De pipen fan it spesjale gassysteem binne allegear makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leech-koalstof roestfrij stiel pipen (316L) mei elektropolijst binnenmuorren, en de kleppen binne makke fan roestfrij stiel balgkleppen fan itselde materiaal.
3 Bou en ynstallaasje fan pipelines
3.1 Seksje 8.3 fan 'e "Clean Factory Building Design Code" stelt de folgjende bepalingen foar pipeline ferbinings:
(1) Pipe ferbinings moatte wurde laske, mar hot-dip galvanized stielen buizen moatte wurde tried.
(2) RVS pipen moatte wurde ferbûn troch argon arc welding en butt welding of socket welding, mar hege suverens gas pipelines moatte wurde ferbûn troch butt welding sûnder merken op 'e binnenmuorre.
(3) De ferbining tusken pipelines en apparatuer moat foldwaan oan de ferbining easken fan 'e apparatuer. By it brûken fan slangferbiningen moatte metalen slangen brûkt wurde
(4) De ferbining tusken pipelines en kleppen moat foldwaan oan de folgjende regeljouwing
① De sealing materiaal ferbinen hege suverens gas pipelines en kleppen moatte brûke metalen pakkingen of dûbele ferrules neffens de easken fan it produksjeproses en gas skaaimerken.
②It dichtmateriaal by de threaded as flangeferbining moat polytetrafluorethylen wêze.
3.2 Neffens de easken fan spesifikaasjes en relevante technyske maatregels moat de ferbining fan hege suvere gasliedingen safolle mooglik laske wurde. Direkte butt welding moat wurde mijd tidens welding. Pipe mouwen of ôfmakke gewrichten moatte brûkt wurde. De buis mouwen moatte wurde makke fan itselde materiaal en ynderlike oerflak glêdens as de pipen. nivo, tidens welding, om foar te kommen oksidaasje fan it welding diel, suver beskermjende gas moatte wurde ynfierd yn de welding piip. Foar roestfrij stiel pipen moat argon arc welding brûkt wurde, en argongas fan deselde suverens moat yn 'e piip ynfierd wurde. Threaded ferbining of threaded ferbining moat wurde brûkt. By it ferbinen fan flanges moatte ferrules brûkt wurde foar threaded ferbinings. Utsein soerstofpipen en wetterstofpipen, dy't metalen pakkingen moatte brûke, moatte oare liedingen polytetrafluorethylene pakkingen brûke. It oanbringen fan in lytse hoemannichte silikongummi op 'e pakkingen sil ek effektyf wêze. Ferbetterje sealing effekt. Soartgelikense maatregels moatte wurde nommen as flensferbiningen wurde makke.
Foardat ynstallaasjewurk begjint, in detaillearre fisuele ynspeksje fan pipen,fittings, kleppen, ensfh moatte wurde útfierd. De ynderlike muorre fan gewoane roestfrij stiel buizen moatte wurde ingelegde foar ynstallaasje. De pipen, fittings, kleppen, ensfh.
Foardat it systeem wurdt ynstalleare en yn gebrûk nommen, moat it oerdracht- en distribúsjepipelinesysteem folslein skjinmakke wurde mei it levere gas mei hege suverens. Dit blaast net allinich de stofdieltsjes fuort dy't by it ynstallaasjeproses per ûngelok yn it systeem foelen, mar spilet ek in droege rol yn it liedingsysteem, wêrby't in diel fan it troch de buismuorre opnomde fochtige gas ôffierd wurdt en sels it buismateriaal.
4. Pipeline druk test en akseptaasje
(1) Nei't it systeem is ynstalleare, sil 100% radiografyske ynspeksje fan 'e pipen dy't tige giftige floeistoffen yn spesjale gasliedingen ferfiere wurde útfierd, en har kwaliteit sil net leger wêze as nivo II. Oare buizen sille ûnderwurpen wêze oan sampling radiografyske ynspeksje, en de sampling ynspeksje ratio sil net minder wêze dan 5%, de kwaliteit sil net leger wêze as klasse III.
(2) Nei it trochjaan fan de net-destruktive ynspeksje moat in druktest wurde útfierd. Om de droegeheid en skjinens fan it piipsysteem te garandearjen, moat in hydraulyske druktest net wurde útfierd, mar in pneumatyske druktest moat brûkt wurde. De loftdruktest moat wurde útfierd mei stikstof as komprimearre loft dy't oerienkomt mei it suverensnivo fan 'e skjinne keamer. De testdruk fan 'e pipeline moat 1.15 kear de ûntwerpdruk wêze, en de testdruk fan' e fakuümpipeline moat 0.2MPa wêze. Tidens de test moat de druk stadichoan en stadichoan ferhege wurde. As de druk opkomt nei 50% fan 'e testdruk, as gjin abnormaliteit of lekkage wurdt fûn, bliuw de druk stap foar stap mei 10% fan' e testdruk te ferheegjen, en stabilisearje de druk foar 3 minuten op elk nivo oant de testdruk . Stabilisearje de druk foar 10 minuten, ferminderje dan de druk nei de ûntwerpdruk. De drukstoptiid moat wurde bepaald neffens de behoeften fan lekdeteksje. De skomjende agent is kwalifisearre as der gjin lek is.
(3) Nei't it fakuümsysteem de druktest hat trochjûn, moat it ek in 24-oere fakuümgraadtest útfiere neffens de ûntwerpdokuminten, en de drukpersintaazje moat net grutter wêze as 5%.
(4) Leakage test. Foar ppb- en ppt-klasse pipelinesystemen, neffens relevante spesifikaasjes, moat gjin lekkage wurde beskôge as kwalifisearre, mar de test foar lekkagebedrach wurdt brûkt by it ûntwerp, dat is, de test foar lekkagebedrach wurdt útfierd nei de luchtdichtheidstest. De druk is de wurkdruk, en de druk wurdt stoppe foar 24 oeren. De gemiddelde oeren leakage is minder as of gelyk oan 50ppm as kwalifisearre. De berekkening fan it lek is as folget:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Yn de formule:
A-oere lekkage (%)
P1-Absolute druk oan it begjin fan 'e test (Pa)
P2-Absolute druk oan 'e ein fan' e test (Pa)
T1-absolute temperatuer oan it begjin fan 'e test (K)
T2-absolute temperatuer oan 'e ein fan' e test (K)
Post tiid: Dec-12-2023