It 909 Projekt Fergees Grutte Skaal Yntegreare Sirkwyfabryk is in grut bouprojekt fan 'e elektroanika-yndustry fan myn lân tidens it Njoggende Fiifjierplan om chips te produsearjen mei in linebreedte fan 0,18 mikron en in diameter fan 200 mm.
De produksjetechnology fan tige grutskalige yntegreare skeakelingen omfettet net allinich heechpresyzjetechnologyen lykas mikrobewerking, mar stelt ek hege easken oan gasreinheid.
De bulkgasfoarsjenning foar Projekt 909 wurdt fersoarge troch in joint venture tusken Praxair Utility Gas Co., Ltd. fan 'e Feriene Steaten en relevante partijen yn Shanghai om mienskiplik in gasproduksjeynstallaasje op te rjochtsjen. De gasproduksjeynstallaasje leit neist it fabryksgebou fan it 909-projekt, en beslacht in oerflak fan sawat 15.000 kante meter. De suverens- en útfiereasken fan ferskate gassen
Heechsuvere stikstof (PN2), stikstof (N2), en heechsuvere soerstof (PO2) wurde produsearre troch loftskieding. Heechsuvere wetterstof (PH2) wurdt produsearre troch elektrolyse. Argon (Ar) en helium (He) wurde útsourced. It quasi-gas wurdt suvere en filtere foar gebrûk yn Projekt 909. Spesjaal gas wurdt levere yn flessen, en de gasflessekast is pleatst yn 'e helpworkshop fan' e yntegreare circuitproduksjefabryk.
Oare gassen omfetsje ek in skjin, droech CDA-systeem foar komprimearre loft, mei in gebrûksfolume fan 4185m3/oere, in drukdauwpunt fan -70°C, en in dieltsjegrutte fan net mear as 0.01um yn it gas op it gebrûkspunt. Systeem foar sykheljen mei komprimearre loft (BA), gebrûksfolume 90m3/oere, drukdauwpunt 2℃, dieltsjegrutte yn it gas op it gebrûkspunt is net grutter as 0.3um, prosesfakuüm (PV)-systeem, gebrûksfolume 582m3/oere, fakuümgraad op it gebrûkspunt -79993Pa. Reiniging mei fakuüm (HV)-systeem, gebrûksfolume 1440m3/oere, fakuümgraad op gebrûkspunt -59995 Pa. De loftkompressorkeamer en de fakuümpompkeamer lizze beide yn it fabryksgebiet fan it 909-projekt.
Seleksje fan piipmaterialen en accessoires
It gas dat brûkt wurdt yn VLSI-produksje hat ekstreem hege easken foar skjinens.Hege-suverens gasliedingenwurde meastentiids brûkt yn skjinne produksjeomjouwings, en har skjinenskontrôle moat oerienkomme mei of heger wêze as it skjinensnivo fan 'e romte dy't brûkt wurdt! Derneist wurde gasliedingen mei hege suverens faak brûkt yn skjinne produksjeomjouwings. Suvere wetterstof (PH2), soerstof mei hege suverens (PO2) en guon spesjale gassen binne brânber, eksplosyf, ferbaarningsstipe of giftige gassen. As it gasliedingsysteem ferkeard ûntworpen is of de materialen ferkeard selektearre binne, sil net allinich de suverens fan it gas dat by it gaspunt brûkt wurdt ôfnimme, mar it sil ek mislearje. It foldocht oan 'e proseseasken, mar it is ûnfeilich om te brûken en sil fersmoarging feroarsaakje yn 'e skjinne fabryk, wat ynfloed hat op 'e feiligens en skjinens fan 'e skjinne fabryk.
De garânsje fan 'e kwaliteit fan gas mei hege suverens op it gebrûkspunt hinget net allinich ôf fan 'e krektens fan gasproduksje, suveringsapparatuer en filters, mar wurdt ek foar in grut part beynfloede troch in protte faktoaren yn it pipelinesysteem. As wy fertrouwe op gasproduksjeapparatuer, suveringsapparatuer en filters, is it gewoan ferkeard om ûneinich hegere presyzje-easken op te lizzen om te kompensearjen foar ferkeard ûntwerp fan gasliedingsystemen of materiaalseleksje.
Tidens it ûntwerpproses fan it 909-projekt hawwe wy de "Koade foar ûntwerp fan skjinne planten" GBJ73-84 (de hjoeddeiske standert is (GB50073-2001)), "Koade foar ûntwerp fan komprimearre luchtstasjons" GBJ29-90, "Koade foar ûntwerp fan soerstofstasjons" GB50030-91, "Koade foar ûntwerp fan wetterstof- en soerstofstasjons" GB50177-93, en relevante technyske maatregels foar de seleksje fan pipelinematerialen en accessoires folge. "Koade foar ûntwerp fan skjinne planten" bepaalt de seleksje fan pipelinematerialen en kleppen as folget:
(1) As de gassuverens grutter is as of gelyk oan 99.999% en it dauwpunt leger is as -76°C, moat in 00Cr17Ni12Mo2Ti roestfrij stielen piip mei leech koalstofgehalte (316L) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwand of in OCr18Ni9 roestfrij stielen piip (304) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwand brûkt wurde. De fentyl moat in diafragmafentyl of in balgfentyl wêze.
(2) As de gassuverens grutter is as of gelyk oan 99,99% en it dauwpunt leger is as -60 °C, moat OCr18Ni9 roestfrij stielen buis (304) mei elektrolytysk gepolijste binnenwand brûkt wurde. Utsein balgkleppen dy't brûkt wurde moatte foar brânbere gasliedingen, moatte kogelkleppen brûkt wurde foar oare gasliedingen.
(3) As it dauwpunt fan droege perslucht leger is as -70°C, moat OCr18Ni9 roestfrij stielen piip (304) mei in gepolijste binnenwand brûkt wurde. As it dauwpunt leger is as -40℃, moat OCr18Ni9 roestfrij stielen piip (304) of in hjitgalvanisearre naadleaze stielen piip brûkt wurde. De fentyl moat in balgklep of in kûgelklep wêze.
(4) It materiaal fan 'e fentyl moat kompatibel wêze mei it materiaal fan 'e ferbinende piip.
Neffens de easken fan spesifikaasjes en relevante technyske maatregels beskôgje wy benammen de folgjende aspekten by it selektearjen fan pipelinematerialen:
(1) De loftpermeabiliteit fan piipmaterialen moat lyts wêze. Piipen fan ferskillende materialen hawwe ferskillende loftpermeabiliteit. As pipen mei gruttere loftpermeabiliteit keazen wurde, kin fersmoarging net fuorthelle wurde. RVS-pipen en koperen pipen binne better yn it foarkommen fan 'e penetraasje en korrosje fan soerstof yn 'e atmosfear. Omdat RVS-pipen lykwols minder aktyf binne as koperen pipen, binne koperen pipen aktiver yn it tastean fan focht út 'e atmosfear om yn har binnenste oerflakken te penetrearjen. Dêrom, by it selektearjen fan pipen foar gaspipelines mei hege suverens, moatte RVS-pipen de earste kar wêze.
(2) It binnenste oerflak fan it piipmateriaal wurdt adsorbearre en hat in lyts effekt op it analysearjen fan it gas. Nei't de roestfrij stielen piip ferwurke is, sil in beskate hoemannichte gas yn it metalen roaster bewarre bliuwe. As gas mei hege suverens dertroch giet, sil dit diel fan it gas yn 'e loftstream komme en fersmoarging feroarsaakje. Tagelyk sil, troch adsorpsje en analyse, it metaal op it binnenste oerflak fan 'e piip ek in beskate hoemannichte poeier produsearje, wêrtroch fersmoarging fan it gas mei hege suverens ûntstiet. Foar piipsystemen mei in suverens boppe 99.999% of ppb-nivo, moat 00Cr17Ni12Mo2Ti leechkoalstof roestfrij stielen piip (316L) brûkt wurde.
(3) De slijtvastheid fan roestfrij stielen pipen is better as dy fan koperen pipen, en it metaalstof dat ûntstiet troch eroazje fan 'e loftstream is relatyf minder. Produksjewurkpleatsen mei hegere easken foar skjinens kinne 00Cr17Ni12Mo2Ti leechkoalstof roestfrij stielen pipen (316L) of OCr18Ni9 roestfrij stielen pipen (304) brûke, koperen pipen meie net brûkt wurde.
(4) Foar piipsystemen mei gasreinheid boppe 99,999% of ppb- of ppt-nivo's, of yn skjinne keamers mei loftreinheidsnivo's fan N1-N6 spesifisearre yn 'e "Clean Factory Design Code", ultra-skjinne pipen ofEP ultra-skjinne pipenmoat brûkt wurde. Meitsje in skjinne "skjinne buis mei in ultra-glêde binnenkant".
(5) Guon fan 'e spesjale gasliedingsystemen dy't brûkt wurde yn it produksjeproses binne tige korrosive gassen. De pipen yn dizze pipensystemen moatte korrosjebestindige roestfrij stielen pipen brûke as pipen. Oars sille de pipen skansearre wurde troch korrosje. As korrosjeplakken op it oerflak foarkomme, meie gewoane naadleaze stielen pipen of galvanisearre lassen stielen pipen net brûkt wurde.
(6) Yn prinsipe moatte alle ferbiningen fan gasliedingen lassen wurde. Omdat it lassen fan galvanisearre stielen pipen de galvanisearre laach ferneatiget, wurde galvanisearre stielen pipen net brûkt foar pipen yn skjinne keamers.
Rekken hâldend mei de boppesteande faktoaren binne de gasliedingpipen en kleppen dy't selektearre binne yn it &7&-projekt as folget:
De pipen fan it systeem mei hege suverens fan stikstof (PN2) binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leechkoalstof roestfrij stielen pipen (316L) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal.
De stikstof (N2) systeempipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leechkoalstof roestfrij stielen pipen (316L) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal.
De pipen fan it hege-suverens wetterstof (PH2) systeem binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leech-koalstof roestfrij stielen pipen (316L) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal.
De pipen fan it hege-suverens soerstof (PO2) systeem binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leech-koalstof roestfrij stielen pipen (316L) mei elektro-gepoleerde binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal.
Argon (Ar) systeempipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leechkoalstof roestfrij stielen pipen (316L) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwanden, en roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal wurde brûkt.
De helium (He) systeempipen binne makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leechkoalstof roestfrij stielen pipen (316L) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal.
De skjinne droege perslucht (CDA) systeempipen binne makke fan OCr18Ni9 roestfrij stielen pipen (304) mei gepolijste binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal.
De pipen fan it sykheljen mei perslucht (BA) systeem binne makke fan OCr18Ni9 roestfrij stielen pipen (304) mei gepolijste binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen kûgelkleppen fan itselde materiaal.
De pipen fan it prosesfakuüm (PV) systeem binne makke fan UPVC-pipen, en de kleppen binne makke fan fakuümflinterkleppen makke fan itselde materiaal.
De pipen fan it skjinmakfakuümsysteem (HV) binne makke fan UPVC-pipen, en de kleppen binne makke fan fakuümflinterkleppen makke fan itselde materiaal.
De pipen fan it spesjale gassysteem binne allegear makke fan 00Cr17Ni12Mo2Ti leechkoalstof roestfrij stielen pipen (316L) mei elektrolytysk gepoleerde binnenwanden, en de kleppen binne makke fan roestfrij stielen balgkleppen fan itselde materiaal.
3 Oanlis en ynstallaasje fan pipelines
3.1 Seksje 8.3 fan 'e "Clean Factory Building Design Code" stelt de folgjende bepalingen foar pipeline-ferbiningen fêst:
(1) Piipferbiningen moatte lassen wurde, mar hjitgalvanisearre stielen pipen moatte skroefdraad hawwe. It ôfslutingsmateriaal fan skroefdraadferbiningen moat foldwaan oan de easken fan artikel 8.3.3 fan dizze spesifikaasje.
(2) RVS-pipen moatte ferbûn wurde troch argonbôgelassen en stomplassen of mofalassen, mar gasliedingen mei hege suverens moatte ferbûn wurde troch stomplassen sûnder merken op 'e binnenmuorre.
(3) De ferbining tusken pipelines en apparatuer moat foldwaan oan de ferbiningseasken fan 'e apparatuer. By it brûken fan slangferbiningen moatte metalen slangen brûkt wurde.
(4) De ferbining tusken pipelines en kleppen moat foldwaan oan de folgjende regeljouwing
① It ôfslutingsmateriaal dat hege-suverens gasliedingen en kleppen ferbynt, moat metalen pakkingen of dûbele ferrules brûke neffens de easken fan it produksjeproses en gaseigenskippen.
②It ôfslutingsmateriaal by de skroefdraad- of flensferbining moat polytetrafluoroethyleen wêze.
3.2 Neffens de easken fan spesifikaasjes en relevante technyske maatregels moat de ferbining fan gasliedingen mei hege suverens safolle mooglik lassen wurde. Direkt stomplassen moat foarkommen wurde by it lassen. Piipmouwen of ôfmakke ferbiningen moatte brûkt wurde. De piipmouwen moatte makke wurde fan itselde materiaal en binnenste oerflak glêd as de pipen. nivo, by it lassen, om oksidaasje fan it lasdiel te foarkommen, moat suver beskermingsgas yn 'e laspiip ynfierd wurde om oksidaasje fan it lasdiel te foarkommen. Foar roestfrij stielen pipen moat argonbôgelassen brûkt wurde, en argongas fan deselde suverens moat yn 'e piip ynfierd wurde. Skruefferbining of skruefferbining moat brûkt wurde. By it ferbinen fan flenzen moatte ferrules brûkt wurde foar skruefferbiningen. Utsein foar soerstofpipen en wetterstofpipen, dy't metalen pakkingen brûke moatte, moatte oare pipen polytetrafluoroethyleenpakkingen brûke. It oanbringen fan in lytse hoemannichte silikonrubber op 'e pakkingen sil ek effektyf wêze. Ferbetteret it ôfslutingseffekt. Fergelykbere maatregels moatte nommen wurde by it meitsjen fan flensferbiningen.
Foardat ynstallaasjewurk begjint, moat in detaillearre fisuele ynspeksje fan pipen útfierd wurde,fittings, kleppen, ensfh. moatte útfierd wurde. De binnenwand fan gewoane roestfrij stielen pipen moat foar ynstallaasje ynlein wurde. De pipen, fittings, kleppen, ensfh. fan soerstofpipelines moatte strang ferbean wurde fan oalje, en moatte foar ynstallaasje strikt ûntfette wurde neffens relevante easken.
Foardat it systeem ynstalleare en yn gebrûk nommen wurdt, moat it transmissie- en distribúsjepipelinessysteem folslein suvere wurde mei it levere gas mei hege suverens. Dit blaast net allinich de stofdieltsjes fuort dy't tafallich yn it systeem fallen binne tidens it ynstallaasjeproses, mar spilet ek in droege rol yn it pipelinessysteem, wêrtroch't in diel fan it fochtbefettende gas dat troch de piipwand en sels it piipmateriaal opnommen wurdt, fuorthelle wurdt.
4. Druktest en akseptaasje fan pipelines
(1) Nei't it systeem ynstalleare is, moat 100% radiografyske ynspeksje útfierd wurde fan 'e pipen dy't tige giftige floeistoffen ferfiere yn spesjale gaspipelines, en har kwaliteit moat net leger wêze as nivo II. Oare pipen moatte ûnderwurpen wurde oan radiografyske ynspeksje fan sampling, en de ynspeksjeferhâlding fan sampling moat net minder wêze as 5%, de kwaliteit moat net leger wêze as klasse III.
(2) Nei it slagjen fan 'e net-destruktive ynspeksje moat in druktest útfierd wurde. Om de droechte en skjinens fan it piipsysteem te garandearjen, moat gjin hydraulyske druktest útfierd wurde, mar moat in pneumatyske druktest brûkt wurde. De loftdruktest moat útfierd wurde mei stikstof of komprimearre loft dy't oerienkomt mei it skjinensnivo fan 'e skjinne keamer. De testdruk fan 'e piiplieding moat 1,15 kear de ûntwerpdruk wêze, en de testdruk fan 'e fakuümpipeline moat 0,2 MPa wêze. Tidens de test moat de druk stadichoan en stadich ferhege wurde. As de druk omheech giet nei 50% fan 'e testdruk, en as der gjin abnormaliteit of lekkage fûn wurdt, bliuw de druk stap foar stap ferheegje mei 10% fan 'e testdruk, en stabilisearje de druk 3 minuten op elk nivo oant de testdruk. Stabilisearje de druk 10 minuten, en ferminderje dan de druk nei de ûntwerpdruk. De stoptiid fan 'e druk moat bepaald wurde neffens de behoeften fan lekdeteksje. It skommiddel is kwalifisearre as der gjin lekkage is.
(3) Nei't it fakuümsysteem de druktest trochjûn hat, moat it ek in 24-oere fakuümgraadtest útfiere neffens de ûntwerpdokuminten, en de drukpersintaazje moat net grutter wêze as 5%.
(4) Lektest. Foar pipelinesystemen fan ppb- en ppt-kwaliteit, neffens relevante spesifikaasjes, moat gjin lekkage as kwalifisearre beskôge wurde, mar de lekhoeveelheidstest wurdt brûkt tidens ûntwerp, dat wol sizze, de lekhoeveelheidstest wurdt útfierd nei de luchtdichtheidstest. De druk is de wurkdruk, en de druk wurdt 24 oeren lang stoppe. De gemiddelde lekkage per oere is minder as of gelyk oan 50 ppm as kwalifisearre. De berekkening fan 'e lekkage is as folget:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Yn 'e formule:
Lekkage yn in oere (%)
P1-Absolute druk oan it begjin fan 'e test (Pa)
P2-Absolute druk oan 'e ein fan 'e test (Pa)
T1-absolute temperatuer oan it begjin fan 'e test (K)
T2-absolute temperatuer oan 'e ein fan 'e test (K)
Pleatsingstiid: 12 desimber 2023